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INHALTE
Serie nanoSX 800
ultraflacher Hochleistungspositionierer
Die neue Serie nanoSX basiert auf dem speziellen
bi-direktionalen nanoX Antriebsdesign. Somit können Systeme
angeboten werden, welche bei Abmessungen von nur 60x60mm in
Länge und Breite und einer Gesamthöhe von lediglich 20mm,
einen Stellweg von bis zu 800µm ermöglichen. Der freie
Innendurchmesser beträgt sogar 12.5mm.
Ein Vorteil des nanoX Antriebs ist die extreme Führungsgenauigkeit, die speziell den hohen Anforderungen der Nano-Positioniertechnik angepasst wurde. Die Auflösung beträgt 1.2 nm bei einer Tragfähigkeit bis zu 50N Last.
Die extrem hohe Steifigkeit ermöglicht Anstiegszeiten im µsec-Bereich. Auch können die Systeme mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung realisieren.
Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführung verfügbar.
Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Positionierung anderer Komponenten, als Scanning-Stage für alle Arten der Mikroskopie sowie in der Materialforschung und in der Halbleitertechnik.
Möchten Sie weitere Informationen zu diesen Produkt erhalten nutzen Sie unser Kontaktformular oder senden Sie eine E-Mail: sales@piezojena.com
- Hub bis zu 800µm
- extreme Führungsgenauigkeit durch nanoX-Antrieb
- 2.5 N Z-Achsensteifigkeit
- 1.2 nm Auflösung
- Resonanzfrequenz bis zu 3kHz
Die neue Serie nanoSX basiert auf dem speziellen
bi-direktionalen nanoX Antriebsdesign. Somit können Systeme
angeboten werden, welche bei Abmessungen von nur 60x60mm in
Länge und Breite und einer Gesamthöhe von lediglich 20mm,
einen Stellweg von bis zu 800µm ermöglichen. Der freie
Innendurchmesser beträgt sogar 12.5mm.Ein Vorteil des nanoX Antriebs ist die extreme Führungsgenauigkeit, die speziell den hohen Anforderungen der Nano-Positioniertechnik angepasst wurde. Die Auflösung beträgt 1.2 nm bei einer Tragfähigkeit bis zu 50N Last.
Die extrem hohe Steifigkeit ermöglicht Anstiegszeiten im µsec-Bereich. Auch können die Systeme mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung realisieren.
Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführung verfügbar.
Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Positionierung anderer Komponenten, als Scanning-Stage für alle Arten der Mikroskopie sowie in der Materialforschung und in der Halbleitertechnik.
Möchten Sie weitere Informationen zu diesen Produkt erhalten nutzen Sie unser Kontaktformular oder senden Sie eine E-Mail: sales@piezojena.com
