Piezo Syteme Jena

TRITOR 50 CAP

Das Piezo - Element TRITOR 50 CAP verbindet die Vorteile einer sehr kompakten Baugröße mit der Positioniergenauigkeit eines kapazitiven Systems. Es wird ein Hub von 50µm in allen drei Achsen realisiert. Der Nanopositionierer ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Durch die integrierten Positionssensoren werden Drift- und Hystereseffekte eliminiert.

 

• hochkompaktes Design mit integriertem Messsystem
  
• hochparallele Bewegung durch Parallelogrammdesign
  
• hohe Wiederholbarkeit und Linearität durch Festkörpergelenke
  
• Hub ohne mechanisches Spiel
  
• hohe Auflösung im nm und sub-nm Bereich
  
• Stellwege bis 50 µm
  
• Stiftlöcher zur passgenauen Montage