Piezo Syteme Jena

3D Piezo - Positioniersysteme

• freier Innendurchmesser 40mm
• hochparallele xyz Bewegung durch Federparallelprogramme
• kompakte Maße bei großem Stellbereich
• spielfreie Bewegung durch Festkörpergelenke
• hohe Auflösung im nm- und sub-nm-Bereich
• integrierte Wegübersetzung
• Stellbereich bis 100/80µm (open/closed loop)
  
  

Die Nano-Positionierer der Serie TRITOR 102 ermöglichen eine spielfreie parallele Bewegungen in x-, y- und z-Richtung. Sie erreichen im open loop bis zu 100 µm Stellweg bei sehr kompakten Abmessungen. TRITOR 102-Elemente lassen sich unkompliziert mit mechanischen oder elektromagnetischen Antrieben zu Positioniersystemen mit höchster Auflösung kombinieren.
Angeboten werden verschiedene Ausführungen dieser Elemente - z. B. mit integriertem Meßsystem (DMS und kapazitiv) und Ausführungen für Vakuumanwendungen. Aufgrund Ihres Aufbaus sind TRITOR-Elemente für dynamische Anwendungen geeignet.

Der freie Innendurchmesser von 40mm (TRITOR 102) macht dieses Nano-Positionierer besonders für die Mikroskopie und für Scan-Applikationen interessant.