Piezo Syteme Jena

• zentrale Durchgangsöffnung 22 x 22 mm
• Scanner
• Waferpositionierung
• Mikroskopie, Rastersondenmikroskopie
• Automation

Dieser neue Piezo-Positioniertisch erreicht einen sehr großen Stellweg von 400 x 400 µm. Neu konstruierte Antriebe ermöglichen zugleich eine hohe Resonanzfrequenz und ein verbessertes dynamisches Verhalten.
Das System wurde speziell als XY-Scanner entwickelt, es ist jedoch für weitere vielfältige Einsatzmöglichkeiten geeignet.
Vorteilhaft für viele Anwendungen ist der freie Durchgang von 22 x 22 mm in der Mitte des Systems.