INHALTE
PZ 8 D12
- hochparallele Bewegung durch Parallelogrammdesign
- kHz Resonanzfrequenz
- Version mit Positionssensor
- Hub ohne mechanisches Spiel durch Festkörpergelenke
Die Aktoren PZ 8 bzw. 20 D12 wurden ursprünglich als Zusatzelemente für die Serie PXY D12 entwickelt und stellen eine Spezialausführung der PZ Aktoren dar. Sie bieten eine Bewegung in z-Richtung 8µm bzw. 20µm.
Die Aktoren PZ 8 und 20 D12 verfügen über ein einfaches, schlichtes Design ohne Boden- oder Deckplatte und können sehr schnell und einfach mit anderen Systemen kombiniert werden. Alle Elemente sind mit Positionssensorik für closed loop Regelkreise und als Vakuum- und Tieftemperaturausführung verfügbar.

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