Piezo Syteme Jena

Hochlastaktoren ohne mechanische Vorspannung

• Stellbereich bis 103 µm
• ohne Vorspannung
• sub-nm Auflösung
• hohe Steifigkeit bis 175 N/µm
• Blockierkraft bis 3500 N
• geringe Anstiegszeit
• Epoxy-Keramikisolierung
• Anschraubgewinde im Fußstück

Anwendungen:

• Mikropositionierung großer Lasten
• Automation
• Halbleitertechnologie
• Bewegung von Optiksystemen
• Strahljustage

Die Stapelaktoren der Serie PHL sind ohne mechanische Vorspannung.
Die PHL Elemente erreichen sehr hohe Blockierkräfte (bis 3500 N) und können daher vorzugsweise in Applikationen, bei denen große Kräfte oder Massen auftreten, eingesetzt werden.
Der Piezoaktor ist mit einer Boden- und Deckplatte verklebt und befindet sich in einem Edelstahlgehäuse. Das Kopfstück kann als Option mit einem balligen Endstück versehen werden.
Mechanisches Spiel ist ausgeschlossen.

Die Aktoren der Serie PHL können optional mit DMS-Sensoren ausgerüstet werden. Mit Dehnmessstreifen können Genauigkeiten typisch < 0,5% vom Hub erreicht werden. Die Auflösung der Aktoren liegt im sub-nm Bereich. Die Anstiegszeit liegt im Bereich von Millisekunden.