Piezo Syteme Jena

Rotationsaktor

• Drehwinkel bis 11 mrad
• sehr gutes dynamisches Verhalten
• zentrische Drehachse
• 0,02 µrad open loop Auflösung
• 3mm Apertur
• integrierte Temperatur-Kompensation
  
  

Anwendungen:

• Fast Scanning
• Lithographie
• Laserstrahl-Führung …

Die Elemente ROTOR 10 und ROTOR 10 SG sind Aktoren zur Realisierung einer Drehbewegung. Sie ermöglichen einen rotatorischen Scanbereich von bis zu 11mrad um eine zentrale Drehachse.
Eine zentrale, freie Apertur ermöglicht das Durchführen optischer Strahlen oder einer optischen Faser.

Aufgrund der FEA-Optimierung des Aktors, werden ein höchstdynamisches Verhalten und eine sehr gute Führungsgenauigkeit garantiert. Ergänzt wird dies sogar noch durch die Möglichkeit, große Massen bewegen zu können. Aufgrund seiner Struktur besitzt das System ROTOR eine permanente Temperatur-Kompensation.

Datenblatt_ROTOR 10

Zeichnung ROTOR 10Zeichnung ROTOR 10 VAC
Zeichnung ROTOR 10 VACZeichnung ROTOR 10
Zeichnung ROTOR 10Zeichnung ROTOR 10 SG
Zeichnung ROTOR 10 SG VAC

Hinweise zur Handhabung - Piezoaktoren